精密平面研磨机

精密平面研磨机目前，先进光电子产品的制造正朝着高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速发展，带来的对许多光电子产品部件表面的局部平面度及全局平面度提出的的高要求（如要求表面粗糙度达到亚纳米量级），当表面粗糙度达到亚纳米量级时，已与原子直径（小于０。ＤＨ系章绪论列抛光设备还带有自动化的研磨头（４５ＫＧ）、自动加载系统和上下工件系统。１．２．３研磨抛光机的设计开发状况１．２．３．１国外精密研磨抛光机开发状况国外精密单面游离磨料研磨机生产商主要有Ｅｎｇｉｓ公司、Ｌｏｇｉｔｅｅｈ公司、英国ＬａｐｍａｓｔｅｒＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ公司、日本Ｈｉｔｅｃｈｎｏｔｈ公司和德国爱孚机械制造公司等。单面研磨机 精密平面研磨机 镜面研磨机-东莞市金研精密研磨机械制造有限#用途： 精密 主要应用于不銹钢、五金零部件、气压、液压、水压、密封件、压缩机法兰、光学晶体、蓝宝石、LED衬底、导光板、模具、陶瓷片、硅片等各种金属及非金属材料，大批量平面高精密研磨或抛光。１．３课题来源及主要研究内容１．３．１课题来源广州市科技计划项目，项目名称：超精密研磨加工设备的研究与开发。、青铜镜第三时期 镜面、形状精度、尺寸精度 一般透镜、放大镜、金属反射镜ｌ 超精密研抛、加工变质层水晶振子基板、激光头、各种标准２ 超精密研抛的自动化 批量生产透镜用计算机控制超精密研抛加 Ｘ线光学用非球面反射镜、超精密工 光学用金属采用游离磨料、合适的研磨加工机和研磨工艺的平面研磨，作为一种设备相对简单，可以得到很高的形位精度和表面质量的方法，仍然是超精密加工的有效手段之一。

2．试验型高精密双面研磨机，双面研磨机研磨盘修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行精密修整，使研磨盘得到理想的平面效果。2．研磨盘修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行精密修整，得到理想的平面效果。误差会有几十微米甚上百微米，通过修盘机修盘后，研磨盘平面度可达到±0.002mm；工件加工后平面度可达到±0.0005mm（φ50mm）。首先输入材料名称和所要达到的表面粗糙度，经过专家系统的推理策略，得出一个推荐的工艺组台和具体的参数值。精密平面研磨机目前代表国内水平的北京中国航空精密机械研究所（超精密加工技术国防科技实验室）８０年代研制的龙门结构式ＣＪＹ－５００超精密平面研磨机床（如图１．６），上下研磨盘用静压油缸推动上磨盘运动，轴向重复定位精度优于０２ｕｍ。长春理工大学则生产了高速（固结磨料）平面研磨机．主要用于透镜的精磨加工。

平面研磨机特 点：1．系列研磨机工件加压采用气缸加压的方式，压力可调； 2．系列研磨机采用PLC程控系统，触摸屏操作面板，研磨盘转速与定时可直接在触摸屏上输入。精密平面研磨机它生产的１５Ⅳ单面研磨／抛光机（如图１．４）能实现对压电晶体、半导体材料、光学玻璃、光电子晶体、电子陶瓷等金属或非金属的单面研磨或抛光加工，能使加工表面获得较好的平面度和表面粗糙度。本公司承接各种材料的抛光如：不锈钢、铜、铝、塑胶、陶瓷、导光板、五金产品、蓝宝石、光学玻璃等等的镜面抛光。 3、配合高精度修盘机，使研磨盘平面度达±0.002mm确保批量加工高精密平面的稳定性，并大大节省了时间。戴勇等人对超精密研磨和抛光专家系统进行了比较深入的研究，通过对研磨过程和研磨机理认识的不断深入，积累了大量可靠的工艺实验数据，建立了有实用价值的知识库与数据库，再利用有关加工过程的先验知识和模型，进一步建立了专家系统，指导实际加工，向研磨和抛光的智能化控制方向发展。抛光是利用柔性抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。

单面抛光在对单面有平坦度要求，背面形状复杂不易夹持或单平面基准面及高平坦之镜面加工要求时；或薄易碎而没有变形的情形下特别适用。小型桌面式的超精密研抛机以浙江工业大学的智能型纳米级抛光机为代表，．技术水平基本上与国外２０世纪９０年相持平，但此类机器受结构所限，能加工的工件名义直径只有大约２００ｍｍ左右。在研磨加工过程中．，磨料散置于磨盘上，其运动是随机的，一般认为滑动和滚动同时存在，磨料对工件的切削力的大小和方向也是随机的，这给分析和研究工作带来了非常大的困难【２５１。例如化学机械抛光中的抛光液、抛光垫、抛光机、高等级半导体晶片和石英晶片、平面或多面体晶体和光学器件、陶瓷零件和磁性材料零件的研磨抛光机均还依赖进口，同时国外对次超精密加工工艺技术严格保密，这严重制约了我国超精加工水平的提高和普及，不利于先进电子制造业的长远发展【２１＿２４１。精密平面研磨机计算机控制系统通过数字Ｉ／０卡实现对机床气动系统、冷却系统进行控制，并实现了对研磨压力的优化控制，实现了对机床的数字化控制Ｉｓａ］。 K630A 特点： 1、变频控制；实现软启动、停机、刚性冲击小。

主要产品有：研磨机、平面研磨机、双面研磨机、数控平面研磨机、三环平面研磨机、气动平面研磨机、恒速平面研磨机、单面的平面研磨机、平面抛光机、调速平面抛光机、陶瓷平面抛光机等。平面研磨机特 点：1．系列研磨机工件加压采用气缸加压的方式，压力可调； 2．系列研磨机采用PLC程控系统，触摸屏操作面板，研磨盘转速与定时可直接在触摸屏上输入。试验型高精密双面研磨机，双面研磨机特 点：1．试验型高精密双面研磨机，双面研磨机通常研磨盘传统的修盘方式是采用电镀轮来修盘，这种方式得到的修盘效果不太理想。２．１研磨抛光加工机理的研究超精密研磨和抛光技术采用“进化＂加工原理，可获得很高的精度和接近几何学形状的超光滑表面，在现代材料加工中有着很广泛的应用。例如Ｊｅｏｎｇ—ＤｕＫｉｎ，邓广敏等章绪论人研究了陶瓷圆柱面的研磨［２９－３０】。精密平面研磨机文献［２８】从摩擦学的角度来分析磨料颗粒，工件和研磨盘三者之间的相互作用过程，对磨料颗粒在微量去除材料过程中的运动状态、模式和受力情况提及得比较少，磨粒运动时到底是滑动、滚动还是两种运动状态的复合运动，还没有统一的结论。

本课题组在平面研磨抛光加工方面有良好的技术积累，研究成功平面研磨机Ｈｉ—ＴｅｃｈＬＰ３８０Ｓ，以铜基复合材料制成研磨盘，采用独特配方配制的软抛光液，加工光盘模具工件平面度可达０．８肛ｍ：表面粗糙度达到５．８ｎｍ，并成功长期用于国内知名企业光盘模具的修复等加工和磁头磁性材料的镜面加工。精密平面抛光机|平面研磨机|双面抛光机|平面研磨加工-东莞金研#总数:37条每页:20条共有:2页 | 当前第1页前页上一页。精密平面研磨机但是，人们对研磨抛光机理的研究与对其技术的应用相比却滞后固着磨料研磨的加工机理比较简单，与砂轮切除材料的过程基本一广东工业大学工学硕士学位论文致，属于微量切削过程。当前，我国次超精密研磨设备设计制造技术水平总体不高，精密的研磨抛光机均还严重依赖于进口，而且价钱非常昂贵。研磨技术从原始的石器研磨加工发展到现今的用计算机控制的超精密研抛加工，一共经历了四个时期，其从古到今的发展历程如表１．１所示【引。超精密平面研磨可分为四个基本组成部分一研磨盘、研磨液、磨粒和工件…１１。

研磨盘是精密研磨加工中的模具，其面型精度对被加工件的面型精度影响非常大，模具表面形貌能在一定程度上“复制＂到工件表面上【１１－１２１。生产超精密平面研磨抛光设备的公司主要有上海日进机床有限公司、上海菜特门机械有限公司、北京奥美创新机电科技有限公司、深圳宏达高精度平面研磨抛光设备有限公司、深圳市纳诺斯精密机械技术有限公司等。超精密研磨的特点是能获得极高的面型精度，比如超精密平面研磨可以使工件的平面度达到十分之一甚百分之一微米的水平。文献［２７】认为抛光是以磨粒的微小塑性切削生成切屑为主体而进行的，在材料切除过程中会由于局部高温、高压而使工件与磨粒、加工液及抛光盘之间存在着直接的化学作用，并在工件表面产生反应生成物，由于这些作用的重迭，以及抛光液、磨粒及抛光盘的力学作用，使工件表面的生成物不断被除去而使表面平坦化。另外，为获得比较好的研磨效果，国内外许多学者对研磨盘材料的选择，研磨盘结构的设计，研磨盘表面的修整，研磨过程的清洁方法、研磨磨料和研磨液成分、研磨抛光垫的结构等方面作了深入的研究５－３７】。精密平面研磨机单面游离磨料研磨抛光加工因其适应面广，仍然是应用广泛的加工形式之一。