碳化硅精加工设备

Ｃ左右）低、制备参数可控制性强、重复性 好、维护简单等优点，一方面可以通过增加沉积材 料到达基片的动能，使其与基片结合更加牢固，另 一方面可以提高薄膜晶化程度，使薄膜生长致密， 消减生长过程中产生的应力，尤其适合于工程 应用。其中Ｘ，Ｙ， Ｚ为平动自由度；Ｕ，Ｖ，Ｗ为转动自由度。碳化硅精加工设备测量结果表明：各项技 术指标均满足设计要求，其中非球面碳化硅（ＳＩＣ）反射镜实际使用口径内的面形精度（ＲＭＳ 值）为Ｏ．０１６２（２＝０．６３２ ８ｇｍ），表面粗糙度（ＲＭＳ值）为ｏ．８５ ａｍ。 品种规格居同行业前列，欢迎有意向的客户与我公司洽谈选购。请有能力的制造商（供应商）速与本公司联系，并将以下资料以书面或电子邮件的形式传递本公司：1.公司资质及相同项目业绩；2.项目负责人信息（包括姓名、职务、联系方式、电子信箱）；3.公司生产（代理）绿碳化硅精细加工项目设备的信息（包括设备名称、制造厂家、设备技术性能参数、配置、单价等）；4.上述资料若为外文版本，需有对应的中文翻译版本。 １非球面碳化硅反射镜的加工设备 由于非球面表面各个带区的曲率半径各不相 ２非球面碳化硅反射镜的加工与检测 同，因此非球面的加工不可能像平面或球面的加工 非球面碳化硅反射镜的加Ｉ．－－般是从其接 那样采用与被加工工件尺寸相当的磨盘以古典法 近球面成型后开始的，主要的加工工序包括：反射 加工来实现。

经 过一些加工与检测周期的循环，完成对非球面碳化 硅反射镜基底的粗抛光以及表面改性后的精抛光。 收稿日期：２００８—０８—２１Ｉ修固日期：２００８—０９—１５ 作者简介：张峰（１９６９一）。碳化硅精加工设备切削效率高、加工精度稳定。然后，再以 零位补偿干涉检测法检测到的数据为依据制作抛 光文件，经过多个周期的抛光，完成非球面碳化硅 反射镜基底（ＲＢ ＳｉＣ）的粗抛光和表面镀硅改性后 反射镜的精密抛光。在干涉仪与补偿器之间是平面波，这有利于补 偿检验光学系统检测光路的调整，确保对离轴非球 面碳化硅反射镜零位补偿干涉检测的顺利完成。附本公司联系方式：招标代理机构名称：新疆招标有限公司详细地址：新疆.乌鲁木齐市友好南路179号邮 编：830000 电子信箱：[email protected]联 系 人：刘忠元、陶金先生 电话/传真：。

对离轴非球面碳化硅反射镜 进行测量时，在计算机数控单元的控制下，旋转工 作台做旋转运动或者沿着与横梁垂直的方向作直 线进给运动，而测量头在做上下伸缩的测量动作的 同时，还沿着横梁方向以一定的步长完成进给运 动，从而可以分别实现对反射镜整个表面的在极坐 标系下或直角坐标系下的采样测量。 ２．２非球面碳化硅反射镜的抛光及抛光阶段的零 位补偿干涉检测 离轴非球面碳化硅反射镜的抛光包括２个工 序：一是对反射镜基底（ＲＢ ＳｉＣ）的粗抛光；一是对 反射镜改性表面（表面镀硅）的精密抛光。目前，国际上 普遍采用向ＲＢ ＳｉＣ表面上镀制一层碳化硅或者硅 的方法［３巧］，以达到表面改性的目的，进而可以通过 精细抛光达到较好的表面粗糙度要求。 碳化硼(B4C)的比重约2.5，硬度超过碳化硅而接近于金刚石。由于金刚石价格昂贵，因此在研磨加工中，经常使用的是由粒度为微米级的金刚石粉末配制的研磨膏，对涩质合金或陶瓷等材质的工件进行精研和刚玉系氧化铝(Al2O3)的结晶体，天然刚玉的比重在3.9-400 之间，人造刚玉比重在3.2-4.0 之间，氧化铝具有较大的韧性，维氏硬度约为2000 以上。碳化硅精加工设备可见，表面改 性后ＲＢ ＳｉＣ样片表面质量得到大大改善。

磨科按其来源可以分为天然磨料和人造磨料。Ｏｆｆｎｅｒ零位补偿器一般由２个透镜组 成，干涉仪发出的平行光束经过Ｏｆｆｎｅｒ零位补偿 器后入射到非球面表面，经非球面反射再次经过补 偿器回到干涉仪，与参考光束相干涉形成干涉条 纹。碳化硅精加工设备[url= 对以离子束辅助沉积方法改性后的ＲＢ ＳｉＣ样 片表面进行精密光学加工，检测结果表明改性后的 ＲＢ ＳｉＣ样片表面质量明显提高。为了满足不同加工要求，ＦＳＧＪ一２采用了６个 自由度Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｕ，Ｖ，ｗ联动数控系统。 一、研磨 用研磨工具和研磨剂，从工件上研去一层极薄表面层的精加工方法，称为研磨时，在工件与研密盘中间放入金刚砂或其它研磨剂后，受金刚砂挤压，工件表面产生破裂，当研磨盘与工件相对运动后，由于磨料的不规则和它在研磨盘与工件表面滚动，工件表面破裂的碎块和磨创的碎块被\"推走\"，如此重复，逐渐使工件表面成为光滑而精密的平面。

铣刀-精加工碳化硅专用刀具,精加工石墨专用刀具-铣刀尽在-宁波市鄞州友佳...#适用于有色金属的精加工 本厂主要产品为天然钻石(南非)刀具、聚晶金刚石刀具(PCD)、立方氮化硼刀具(PCBN)。附本公司联系方式：招标代理机构名称：新疆招标有限公司详细地址：新疆.乌鲁木齐市友好南路179号邮 编：830000 电子信箱：[email protected]联 系 人：刘忠元、陶金先生 电话/传真：。黑色的碳化硅含量约98%，绿色的约98.5%，碳化硅韧性较小，绿色碳化硅比黑的更脆些，适于加工各种脆性材料。测量完成后， 以采样点的测量数据为依据重构碳化硅反射镜的 面形，并将其与理论设计的理想非球面进行比较， 得到被检测反射镜的面形误差，进而指导对非球面 碳化硅反射镜的加工，实现对其面形误差的修正。研究员，主要从事光学加工与检测方面的工作。碳化硅精加工设备在抛光初始阶段，首先将轮廓检测的终数据 制作成抛光文件，在ＦＳＧＪ一２非球面数控加工设备 上对非球面碳化硅反射镜进行几个周期的抛光，当 反射镜表面亮度达到一定程度后，即可采用零位补 偿干涉检测法对反射镜面形进行检测。

[url= 化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测，并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测 量仪对终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测。图８（ｂ）是实际使用的子 口径的面形精度，子口径的面形精度为０．０１６２ （ＲＭＳ值），达到设计提出的非球面面形精度Ｖｓｏ 的技术指标。，信誉可靠，互惠互利，互通有无，共同发展。一些自动化程度较高的研磨机，还可以自动加压和自动测量工作厚度，研磨效率较高。平板一般三块一组，使用中必须定期检查确保精度。

制成刀具在切削中可长时间保持尺寸的稳定，故而有很长的使用寿命。经过多个周期的加工与检测，终完成非球面 碳化硅反射镜的研磨。碳化硅精加工设备 采用Ｏｆｆｎｅｒ零位补偿器测量系统的光学原理 如图６所示。 图３ ＦＳＧＪ一２非球面数控加工在线轮廓检测示意图 Ｆｉｇ．３ Ｏｎ－ｌｉｎｅ ｃｏｎｔｏｕｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｏｆ ａｓｐｈｅｒｉｃ ｓｕｒｆａｃｅ ｄｕｒｉｎｇ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ ＦＳＧＪ－２ 圈４碳化硅非球面反射镜研磨后的测量结果 Ｆｉｇ．４ Ｔｅｓｔｅｄ ｒｅｓｕｌｔ ｏｆ ＳｉＣ ａｓｐｈｅｒｉｃ ｍｉｒｒｏｒ ａｆｔｅｒ ｇｒｉｎｄｉｎｇ 图４为离轴非球面碳化硅反射镜研磨阶段 终的轮廓测量结果。介绍了非球面计算机控制光学表面成型 （ＣＣＯＳ）技术及ＦＳＧＪ一２非球面数控加工设备。Ｏｆｆｎｅｒ 补偿器是检测非球面常用的补偿器。