石英加工机械设备

切削过程表面烧伤会对玻璃的后续加工 及光学性能产生严重的影响，所以有气孔高磨粒 率的砂轮不符合石英玻璃的ＣＭＧ加工。针对石英玻璃ＣＭＧ加工的特点，开发了ＣＭＧ专用砂轮及磨削液，利用正交实验法优化了石英玻璃 ＣＭＧ加工工艺参数，分析了ＣＭＧ加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、ｐＨ值等因素对加工表面粗糙度及加工 效率的影响，并利用优化后的工艺参数加工得到了兄为０．７９５ ａｍ的石英玻璃表面。本实验中确定有气孔低磨粒率的砂 轮作为石英玻璃的ＣＭＧ加工工具。该磨粒不仅能够和 玻璃发生适当的化学反应，同时对Ｓｉ－Ｏ键具有很 好的切断作用，并且易于从加工表面脱离开，不会 对工件表面造成损伤和污染［８］。石英加工机械设备建材生产加工机械-人造石英石全套设备,人造石全套生产设备，石英石-建材生产加...#百信机械专业提供生产石英石成套设备及人造石成套设备. 本公司主要产品有:石英石压机/石英石搅拌机/石英石稳定机/石英石定厚机/石英石磨光机/石英石切割机/等系列石英石生产设备. 我公司负责设备的全套生产设备的安装调试和技术指导。分别使第７・ 期 仇中军，等：石英玻璃的化学机械磨削加工 图３石英玻璃的表面烧伤微观状态 Ｆｉｇ．３ Ｍｉｃｒｏｓｔａｔｅ ｏｆ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｂｕｒｎ ｆｏｒ ｑｕａｔｚ ｇｌａｓｓ 用余下的两种类型砂轮对石英玻璃进行ＣＭＧ加 工。

为兼顾这个 两个指标，需找出使每个指标都尽可能好的 工艺条件，因此在数据处理时应用到了加权综合 评分法。 2005年开始对人造石英石设备和石英石技术研发，从产品开发、技术攻关、技术引进，以快的速度将的技术和客户的需求反应到产品生产中，使技术和设备走在先进水平线上。加权综合评分值ｙｉ的计算公式如式１ 所示： ｙｉ—ｂｉ。加权综合评分值ｙｉ的计算公式如式１ 所示： ｙｉ—ｂｉ。得到表面测量结果如图６所示。石英加工机械设备输送带式压力机-人造石英石机械使用输送带式真空压力机生产石英石，从进料到出板完全为输送带传送，不仅大大节省了人力，提高了加工效率，而且性能也大幅提升，更加环保，是石英石生产的理想设备。

石英加工机械设备≤１ ｎｍ，同时其光学性 能（透过率≥９３％，反射率≤７％）和ＣＭＰ加工工 件测量结果基本相同。由于材料去除效率和表面粗糙度 对于石英玻璃ＣＭＧ加工同等重要，因此假设两 个指标对终磨削效果的影响是同等重要的，各 占５０分（或者是５０％），权重分值在后面的计算 时还可以作适当地调整。和ＣＭＰ等游离磨粒方 式相比，采用砂轮等固定磨粒加工的方式由于磨 粒被结合剂所固定，工件的形状精度可以通过加 工设备的精度进行控制，加工大口径工件时更容 易获得高的形状精度［３］。因 此，有气孔低磨粒率砂轮更加适合于石英玻璃 ＣＭＧ加工。 从微观角度来说，在石英玻璃加工过程中，为 了实现石英玻璃的材料去除，少需要对材料施 加能够破坏Ｓｉ一０结合势能的能量。 图５ ＣＭＧ磨削液对磨削效果的影响 Ｆｉｇ．５ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｒｅｓｕｌｔｓ ｏｆ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ＣＭＧ ｆｌｕｉｄｓ 利用开发的专用砂轮及磨削液，进行了石英 玻璃ＣＭＧ加工的实验。

因此，ＣＭＧ磨削过程中，通过在磨削液、砂 轮结合剂中添加适当的化学成分和选择磨粒种 类，促进砂轮、磨削液与玻璃表面的硅酸盐发生化 学反应，在玻璃表面形成硅酸凝胶薄膜，会减缓了 化学作用的进一步进行。石英加工机械设备 本项研究结合传统磨削方式和ＣＭＰ的优 点，提出了化学机械磨削（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ，ＣＭＧ）的加工方法。这主要是由 于有气孔低磨粒率的气孔比较多（３３％），容屑空 间大，排屑比较方便，因此可减少磨削过程中的堵 塞，而且比较多的气孔还可以将空气或者磨削液 带入到磨削区域，一定程度地降低了磨削点的温 度，也为获得好的磨削表面质量创造了条件。 磨削液也会对加工效率和加工表面质量产生 很大的影响。由于光掩模所用的石英玻璃基板的加工质 量直接决定着掩模设备的加工能力和性能，因此， 光掩模用玻璃基板的加工在下一代光掩模技术中 有着关重要的作用［１］。图５所示为采用 开发的ＣＭＧ专用磨削液进行湿式磨削和无磨削 液的干式磨削的结果。

石英加工机械设备欢迎广大朋友现场参观考察。 磨削液的作用主要有两个，一方面是冷却作用，避 免磨削区温度过高造成玻璃烧伤，影响石英玻璃 表面质量和光学性能，从这个角度讲冷却液的流 量越大越有利于抑制温度的升高；另一方面，磨削 液的流量越大，带入磨削区的ＯＨ一也越多，也 越有利于弱化石英玻璃化学分子间的结合势 能。而从各单项因素的综合评分平均值可以得 到的加工工艺参数组合：Ａ；（磨削压力２４ ｋＰａ），Ｂｓ（砂轮转速３００ ｒ／ｒａｉｎ），Ｃｌ（磨削液ｐＨ 值８．５），Ｄ２（磨削液流量６ １／ｍｉｎ）。为兼顾这个 两个指标，需找出使每个指标都尽可能好的 工艺条件，因此在数据处理时应用到了加权综合 评分法。【石英石台面加工机械】_石英石台面加工机械价格_石英石台面加工机械批发_石英石台面加工机械厂家_马可波罗网#本页是马可波罗为您提供的石英石台面加工机械产品供应商、制造商，囊括了石英石台面加工机械产品的参数、型号、图片、价格等信息，是石英石台面加工机械产品的权威数据库。２００７，１８５：３１—３７． ［５］周立波，河合真二，本田将之．Ｓｉ哆工八∞ｃｈｅｍ０一 Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ—Ｇｒｉｎｄｉｎｇ（ＣＭＧ）Ｉ二阴中为研究［Ｊ］．精 密工学会懿，２００２，６８（１２）：１５５９—１５６３． 石英玻璃的结合势能，消除因脆性去除而造成的 表面损伤，实现了大口径工件的高表面质量、高形 状精度的加工。

Ｅ－ｍａｉｌ：ｌｂｚｈｏｕ＠ｍｘ．ｉｂａｒａｋｉ．ａｃ．ｊＰ ●下期预告 单探测器偏振相干层析信号傅立叶变换分析 陈晓冬，汪 毅，李海峰，李 乔，郁道银 （天津大学教育部光电信息与技术实验室，天津３０００７２） 研究了生物组织的双折射率、质地密度及层次结构等不同特性对单探测器偏振相干层析（ＰＳ－ ＯＣＴ）信号傅立叶频谱的影响。从加工工件 中任取一个进行测试，并和ＣＭＰ加工基板进行 比较，结果如图７所示。从极差Ｒ的大小可以看出各因素中 对综合结果影响的是Ｂ（砂轮的转速），其次 是Ａ（磨削压力），Ｃ（磨削液ｐＨ值），Ｄ（磨削液流 量）。石英加工机械设备从加工工件 中任取一个进行测试，并和ＣＭＰ加工基板进行 比较，结果如图７所示。 图１ ＣＭＧ专用砂轮 Ｆｉｇ．１ ＣＭＧ ｓｐｅｃｉａｌ ｗｈｅｅｌ 由于石英玻璃ＣＭＧ过程是机械去除和化 学等共同作用的结果，从促进磨料、结合剂和工件 的化学作用效果考虑，开发的ＣＭＧ砂轮的结合 剂选用环氧树脂，磨料选用氧化铈。ＨＥＩＮＺＥＬ Ｃ，ＷＩＴＴＭＡＮＮ Ｍ． Ｆｒｉｃｔｉｏｎ，ｃｏｏｌｉｎｇ ａｎｄ ｌｕｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｉｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ［Ｊ］． ＣＪＲＰＡｎｎａｌｓ，１９９９，４８：５８１－５９８． ［４３ ＶＥＮＫＡＴＥＳＨ ＶＣ。

磨削效果的表征则采用磨削效率（材 料去除效率）和表面粗糙度Ｒ。石英加工机械设备石英石设备压铸机,石英石技术支持_机械及行业设备_世界工厂网中国产品信息库#供应石英石设备压铸机,石英石技术支持的详细描述： 重庆中科机械设备厂创建于1993年，位于军工机械、经济发达、交通便利的长江上游经济发展城市 重庆，十几年来致力于混疑土搅拌系统和人造石浇注设备的研发制造，构建了一个由多名机械工程师和一线操作技术人员组成的研发团队，通过技术改良，形成生产技术上的优势。磨削过程中由 于影响磨削效果的因素比较多，如果一一进行单 因素实验，需要进行大量的实验，还要有足够的时 昌ｃ＼《光学精密工程 第１８卷 间和成本。 利用３种砂轮在图２所示的能够实现等压控 制的立式磨床上分别对石英玻璃进行ＣＭＧ加 工。如何控制磨削 液的ｐＨ值，并使其在整个抛光过程中保持在适 当范围内，是能否获得高质量石英玻璃加工表面 质量的关键之一［９］。和ＣＭＰ等游离磨粒方 式相比，采用砂轮等固定磨粒加工的方式由于磨 粒被结合剂所固定，工件的形状精度可以通过加 工设备的精度进行控制，加工大口径工件时更容 易获得高的形状精度［３］。