超精密光学产品的发展趋势

c.自动化 自动化技术的成功应用，不但提高了效率，保证了产品质量，还可以代替人去完成危险场合的工作。超精密光学产品的发展趋势传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 国内外用计算机数控单点金刚石车削技术(SPDT) 均已能实现纳米级表面粗糙度的镜面加工 。同时，民品光学器件的需求和精度也越来越高，也需精密超精密技术的进一步发展。 2．研制了能够实现传统化学机械抛光，抛光工具做超声纵向振动、超声切向振动和超声椭圆振动等不同振动方式的复合抛光方法的试验系统。目前精密模压技术在我国应用还较少精度也较差国外精度为±0.05-0.10mm我国为±0.1-0.25mm。

翼雩 这类机床是 集当今科技进步于一体，如采用摩擦传 动取代了传 统的滚珠丝杠，采用微晶玻璃来获得高 精度的测量 ，采用双频干涉仪作高精度的定位，采用 气浮技术作 为机床的支撑系统等。传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 c.摇动加工方法 电火花加工复杂型腔时可根据被加工部位的摇动图形、摇动量的形状及精度的要求选用电极不断摇动的方法获得侧面与底面更均匀的表面粗糙度更容易控制加工尺寸实现小间隙放电条件下的稳定加工。超精密研磨加工出的球面度达 0.025μm表面粗糙度 Ra 达 0.003μm。超精密光学产品的发展趋势目前精密加工是指加工精度为10.1m表面粗糙度为Ra0.10.01m的加工技术但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的的精密加工可能是明天的一般加工。我国精密加工的现状及发展趋势 - 其它论文 - 道客巴巴#我国精密加工的现状及发展趋势 班级：模具二班 姓名：张蔡荣 学号：3内容摘要： 近十年来，美国十分注重发展精密热加工和提高性能一体化技术。

超精密光学产品的发展趋势美国50年代未发展了金刚石刀具的超精密切削技术称为SPDT技术SinglePointDia-mondTurning或微英寸技术1微英寸0.025μm并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。目前有瑞士的 EROWA 和瑞典的 3R 装置可实现快速精密定位。随着这些问题的顺利解决，今后可望更好地实现直径更小的微小深孔加工，加工精度会更高。b.智能化 智能化是而向 21 世纪制造技术的发展趋势之一。 一般认为，被加工零件的尺寸和形位误差小于零点几微米，表面粗糙度介于几纳米到十几纳米之间的加工技术，是超精密加工技术。 ４结束语 大量的试验研究和加工结果表明，超声振动加 工 具有能量集中、瞬间作用、快速切削的特性，能有 效 地改变传统加工的切削机制，具有独特的加工工 艺 效果，如超声振动可大幅度减少切削力和切削热、 Ｏ．０１斗ｍ，小给定单位为０．Ｏｌ岬， Ｓ７ｒＤ的应 用使测量精度达到了Ａ级。

使生产分散网络化以适应21世纪高柔性生产的需要。 我国也一直 在进行超精密加工技术的研究工 作，并在不 少领域中取得了一定的进展，如北京机床 研究所、航 天３０３所、哈尔滨工业大学、国防科技大 学等单位都 已研制出了自己的超精密加工机床。随着加工主轴的高速化已可采用镗削工具对孔进行高速精密加工。其中离子束加工、等离子体辅助抛光等方法已实现纳米级加工精度。在加工铝合金等有色材料时可采用金刚石涂层硬质合金钻头、DLC涂层硬质合金钻头或带金刚石烧结体刀齿的钻头。超精密光学产品的发展趋势专家系统智能技术的应用使机床操作更容易对操作人员的技术水平要求更低。

国外近年来还发展了以航空航天产品为应用对象的大型模锻件的锻造及叶片精锻工艺、快速凝固粉末层压工艺、大型复杂结构件强力旋压成型工艺、难变形材料超塑成形工艺、先进材料如金属基复合材料、陶瓷基复合材料等成形工艺等。大规模集成电路芯片用电子束、离子束刻蚀加工，线宽可达0.07～0.1 m；用扫描隧道电子显微镜( STM)加工，线宽可达 2～5 nm。 三、超精密加工的技术应用与发展趋势 超精密加工是指亚微米级尺寸误差为 0.3～0.03m，表面粗糙度为 Ra0.03～0.005m和纳米级精度误差为 0.03m，表面粗糙度小于 Ra0.005m精度的加工。 d.精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。与此同时，还基本上掌握了锌、铜、铝、钦合金的超塑成形工艺，小成形厚度可达 0．3mm，形状也较复杂。超精密光学产品的发展趋势 3.特种热处理的发展现状与应用 特种热处理工艺是国防工业系统关键制造技术之一。

机床的自动化运转降低了操作人员的劳动强度、提高生产效率。 在近几十年，科技进步所取得的重大成果，无不与制造技术，尤其与密切相关。超精密光学产品的发展趋势国外近年来还发展了以航空航天产品为应用对象的“大型模锻件的锻造及叶片精锻工艺”、“快速凝固粉末层压工艺”、 “大型复杂结构件强力旋压成型工艺”、 “难变形材料超塑成形工艺”、“先进材料如金属基复合材料、陶瓷基复合材料等成形工艺”等。 超精密加工技术在国际上处于地位的国家有美国、英国和日本。智能制造技术IMT是将人工智能融入制造过程的各个环节，通过模拟人类专家的智能活动，取代或延伸制造系统中的部分脑力劳动，在制造过程中系统能自动监测其运行状态，在受到外界干扰或内部激励能自动调整其参数，以达到状态和具备自组织能力。微细孔加工早已在印刷电路板等加工中加以应用包括钢材在内的多种被加工材料均可用钻头进行小直径加工。

手工或机械抛光加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05m可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的抛光加工。超精密光学产品的发展趋势但总的来说,我国在超精密加工的效率、精度可靠性，特别是规格(大尺寸)和技术配套性方面与国外比，与生产实际要求比，还有相当大的差距。对于小 距离的测量 ，目前电容式、电感式测微仪仍然是主要 设备，而光 纤测微仪的发展也很快。超声波抛光加工精度0.010.02m表面粗糙度Ra0.1m。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工线宽可达0.1m。实际上，这些加工方法不仅能提高表面质量，而且可以提高加工精度。