生产石英坩埚的设备

基于现在环境污染和常规能源短缺的双重危机，发展清洁的，可再生的新能源的要求越来越迫切。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。生产石英坩埚的设备采用本实用新型，可使某些只能在陶瓷坩埚生产的特种玻璃，也能象铂金坩埚生产一样，采用漏料成型工艺，从而获得高品质的、无条纹、无气泡产品，玻璃的成品率也可大幅度提高。048晶体生长的石英坩埚镀碳膜装置[摘要]一种晶体生长的石英坩埚镀碳膜装置，包括加热炉、放置被镀膜石英坩埚的沉淀室和供气控制器。 真空电弧法生产石英坩埚（以下简称真空坩埚）是目前世界上生产石英坩埚进的技术。

光伏产业是世界上发展快的产业，比IT 业发展还要快，而且国际能源机构推算，今后的五十年内，硅太阳能电池（光伏产业）的发展速度将保持在 50%以上的增长速度，是一个朝阳产业。 2、不能和HF接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。生产石英坩埚的设备044内层透明电弧石英坩埚熔制机[摘要]本实用新型涉及一种里层为透明层，外层为半透明层的内层透明电弧石英坩埚熔制机，属采用真空电弧离心法生产半导体用石英坩埚的熔制设备领域。 4．石英质脆，易破，使用时要注意。太阳能发电原理是利用半导体材料的光电效应。设备的更新改造不断升级：从初的回转式工作台，到推拉式工作台，再到的双工位伺服驱动低位工作台（目前的模具工作台无震动和冲击现象 ，低位工作台方便加料和取埚）；从当初的水冷套模具，到现在的抽真空模具， 从原液压驱动方式到电液推杆，再到近开发的伺服电机驱动，进一步提高了坩埚产品的质量，增加了坩埚设备的运行平稳性和控制精度，减少了设备的维修量，可以说其工艺 技术及生产设备已趋完善。

他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。 3．石英坩埚适于用K2S2O7，KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。以上新技术均为国际先进水平。防止了试料与石英坩埚内壁的粘连，使长成的晶体外形光滑完整，晶体易于从坩埚中倒出，石英坩埚可重复使用。碳膜隔离了试料与石英壁直接接触，防止了试料被污染和石英坩埚在高温下的变性。生产石英坩埚的设备该产品完全能满足美国GE、日本申和 以及国际通用标准DHS。

随着大规模集成电路的飞速发展，对单晶硅的直径要求越来越大，需求量也越来越大。 综上所述，真空电弧法石英坩埚项目是目前国内石英行业的技术含量高的项目。1998年~2000 年该厂又陆续投产了3 台石英坩埚生产线。目前，在可生产6-14 英寸和14-22 英寸真空坩埚的两种成套设备的基础上，又设计了24-28 英寸的真空坩埚制造设备。生产石英坩埚的设备主机包括：旋转成型机构、电极升降及开闭机构、遮热板升降机构、电弧电源装置、液压传动系统、真空系统、电控操作台系统、防音及给排风系统、吹扫清洗设备及坩埚取出工具等。产品技术水平达到了国际先进水平， 填补了国内空白。

抓住已培养成熟的市场机遇，投资该项目无疑是一个高起点、高回报，超前眼光的选择。中国加入WTO 后，该产品在国内市场非但不会受到冲击，相反由于国内的成本优势，只要保证产品质量，不仅能够保住国内市场，在国际市场也能挣得一席之地。 目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。为了适应市场需求变化，1996 年10 月， 该公司又委托我们研制开发14 寸-20 寸大直径高纯度电弧离心石英坩埚的生产设备、工艺技术，并建成生产能力2 万只/年的电弧坩埚生产线。生产石英坩埚的设备 目前使用我们设备和技术的厂家分布在辽宁、江苏、天津、湖北、江西、四川、山东，近30 条坩埚生产线，比较大的公司有法国圣戈班公司、美国通用电气（GE）石英公司（无锡）、湖北菲利华、江苏华尔。其技术水平远远超过国内水平，达到了国际先进水平。

设备安装调试完成之后，联合试车一次成功。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。 五、项目研发及成果 项目由来：1995 年9 月，原锦州155 厂石英坩埚分厂（现属法国圣戈班公司）委托原建筑材料工业部直属单位---秦皇岛玻璃工业设计院研制开发6 寸-14 寸高纯度电弧离心石英坩埚的生产设备、工艺技术。生产石英坩埚的设备该产品性能优越，具有纯度高、 杂质含量低、几何尺寸偏差小，无气泡，无析晶现象等优点，技术水平达到国际先进水平，具有很高的推广价 该技术主要只利用高纯石英砂，在超净环境下真空烧制而成。 四、经济可行性分析 按各种规格坩埚的平均产出量计算，一台坩埚制造机年产坩埚约 2 万只，销售收入约 3800万元，扣除生产成本和各种费用等，年纯利润可达1000 万元以上。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。

所以对大直径石英坩埚的规格、品种、数量的要求都发生了新的变化。生产石英坩埚的设备解决了目前国内含有气泡的不透明石英坩埚，由于气泡内含有CO2028石英玻璃坩埚[摘要]本发明涉及一种用于拉制硅单晶体的石英玻璃坩埚，其包括一个具有开孔和封闭孔的致密烧结区域的石英玻璃成形体，在所述石英玻璃成形体的内侧有不透气釉料，外侧具有多孔性。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。并于1998 年度通过了国家新产品采标验收，被评为新产品。它具有热稳定性好，能在高温下连续工作时间长，并且在使用过程中，没有软化和塌边现象，无高温开裂鼓泡现象，与熔硅长时间接触融入量小，降低了单晶中的氧含量，提高了单晶的质量，且高温下不形成方石英颗粒，易于拉晶控制，性能稳定。