加工石粉用什么机械

腐 蚀 工 序 中 要 去 除 4 0 ～ 5 0  m 的 厚 度 一 层 。图 7 ­ 1 7 为 研 磨 效 率 与 研 磨 压 力 间 的 关 系 。倒 角 的 好 坏 往 往 对 成 品 率 产 生 重 大 的 影 响 。将 树 脂 结 合 剂 碗 形 金 刚 石 砂 轮 的 端 面 磨 削 与 一 般 平 形 砂 轮 的 平 面 磨 削 相 比 较 （ 略 ） 。目 前 对 基 片 的 加 工 已 自 成 体 系 。加工石粉用什么机械 磨 削 前 后 基 片 经 腐 蚀 后 的 挠 曲 情 况 见 图 7 ­ 1 3 。

腐 蚀 面 上 集 积 有 许 多 小 坑 ， 表 面 粗 糙 度 只 有 R a 1 0  m 左 右 ， 因 此 要 给 抛 光 工 序 留 下 较 厚 的 抛 光对 此 如 果 选 择 适 当 的 添 加 剂 和 温 度 条 件 ， 表 面 粗 糙 度 可 以 控 制 在 1  m 以 内 。四 ， 基 片 的 腐 蚀腐 蚀 目 的 ： 是 去 除 切 片 及 研 磨 后 在 基 片 表 面 上 残 留 的 加 工 变 质 层 ；去 除 侵 入 和 夹 杂 在 微 小 裂 纹 里 的 研 磨 剂 和 磨 料 ；去 除 附 着 在 表 面 的 金 属 元 素 等 不 纯 物 质 。加工石粉用什么机械 腐 蚀 去 除 的 厚 度 可 根 据 加 工 残 留 的 变 质 层 厚 度 而 定 。蓝 宝 石 的 研 磨 可 使 用 金 刚 石 粉 、 B 4 C 、 S i C 等 磨 料 ， 通 常 多 采 用 助 B 4 C 或 S i C 磨 料 ， 在 铸 铁 研磨 盘 上 研 磨 。目 前 主 要 是 使 用 兼 有 化 学 作 用 的 抛 光 方 法 。为 防 止 以 后 各 工 序 中 发 生 棱 角 的 崩 碎 掉 屑 而 影 响 基 片 的 质 量 ， 也 防 止 划 伤 操 作 者 ， 故 要 对 基 片倒 角 。

目 前 ， 硅 片 的 加 工 技 术 ， 要 求 都 极 为 严 格 ；粗 糙 度 要 求 R a 1 ～ 2  m ， 1 2 . 7 c m ( 5 英 寸 ) 硅 片 的 平 面 度 为 3 ～ 5  m 、 加 工 缺 陷 的 密 度 小 于 1 0 0 个/ c m 2 。还 有 用 图 7 ­ 9 所 示 的 修 整 器 对 锯 片 进 行 修 整 的 。各 国 都 有 自 己 的 标 准 ， 在 基 片 的 尺 寸 、 形 状 、 精 度 要 求 是 有 差 异 的 。归 纳 起 来 有 下 列 三 种 :( 1 ) 极 微 小 的 磨 料 粒 子 在 被 加 工 表 面 上 滑 动 和 转 动 时 ， 由 于 粒 子 的 机 械 作 用 或 与 表 面 间 的 化 学 作用 ， 便 表 面 材 料 脱 离 而 去 除 。 图 7 ­ 1 0 示 出 用金 属 结 合 剂 砂 轮 进 行 平 面 磨 削 时 所 产 生 的 龟 裂 深 度 与 砂 轮 粒 度 、 磨 削 深 度 间 的 关 系 。加工石粉用什么机械加 工 要 求 高 ， 没 有 变 质 层 ， 故 后 需 要 采 用 超 精 密 研 磨 。

基 片 的 加 工 精 度 要 求 很 高 ， 表 面 质 量 也 要 求 很 高 ， 表 面 粗 糙 度 R a 很 低 ， 不 能 有 划 伤 和 加 工 表面 变 质 层 。各 项 技 术 要 求 均 为 亚 微 米 级 ， 对 硅 片 进 行 全 面 检 查 是 既 重 要 又 困 难 的 技 术 。在 切 割 中 产 生 的 弯 曲 等 几 何 方 面 的 形 位 误 差 ， 在 以 后 的 研 磨 、 抛 光 工 序 中 将 很 难 去 掉 ， 使 后 续的 制 造 工 序 如 光 刻 等 作 为 基 准 时 成 为 问 题 。磨 削 工 艺 ：先 用 W 4 0 粒 度 的 砂 轮 磨 削 深 度 1 0 0 ～ 1 5 0  m ，再 用 W 4 粒 度 的 砂 轮 磨 削 深 度 约 7  m ，达 到 给 定 的 精 度 值 ： 厚 度 误 差 ± 5  m ， 平 行 度 5  m / Φ 1 0 1 . 6 m m ， 平 面 度 2 ～ 3  m ， 表 面 粗 糙 度R a 2 ～ 3  m 、 。目 前 多 用 由 两 层 构 成 的 抛 光 衬 垫 ， 表 面 为 发 泡 层 ( 或 称 为 微 孔 层 或 外 保 护 膜 层 等 ) 。加工石粉用什么机械其实石料加工产生的石矿碎沙更是很好的施工原料，其比河沙更具有坚固性的特点，资源比河沙更丰富，而且相比人工制砂设备投资较小，适合大多数人投资。

加工石粉用什么机械§ 2 半 导 体 基 片 的 加 工 技 术一 、 切 片 和 集 成 块 分 离 切 断主 要 的 切 断 方 法 列 于 表 7 ­ 5 。碱 性 腐 蚀 液 对 S i 结 晶 面 具 有 很 强 的 各 向 异 性 ， 特 别 是 对 ( 1 0 0 ) 面 和 ( 1 1 1 ) 面 的 腐 蚀 速 度 比 为 6 0 ～1 0 0 ： 1 。注 意 研 磨 条 件 ： 研 磨 压 力 1 0 M P a ， 研 磨 盘 的 转 数 4 8 r / 民 ， ， 工 件 转 数 3 7 r / m i n 。 磨 削 后 要 倒 角 ， 以 去掉 锋 利 的 棱 边 。腐 蚀 液 有 酸 类 和 碱 类 两 种 ， 目 前 几 乎 均 采 用 酸 类 腐 蚀 液 。锯 片 安 装 时 的 偏 心 也 将 引 起 切 片 挠 曲 。

在 硅 片 的 磨 削 中 ， 试 用 了 与 硅 片 有 化 学 反 应 的 K O H 溶 液 做 磨 削 液 ， 由 于 磨 削 液 的 化 学 作 用 ，不 但 磨 削 力 减 小 ， 而 且 磨 粒 切 削 刃 的 锋 利 性 有 所 增 加 ， 见 图 7 ­ 1 6 a ) ， 图 b ) 示 出 在 用 碗 形 砂 轮 ( W 1 4 )的 端 面 磨 削 Φ 3 0 m m 硅 片 时 ， 当 使 用 K O H 为 磨 削 液 时 ， 磨 削 力 大 幅 度 降 低 。成 型 式 倒 角 — — 是 用 成 型 砂 轮 沿 径 向 对 文 承 在 弹 性 支 承 上 的 硅 片 进 行 倒 角 。加工石粉用什么机械其 中 重 要 的 工 序 为 切 断 和 镜 面 抛 光 ， 它 将 直 接 影 响 硅 片 的 质 量 。 加 工 效 率 因 加 工 条 件 的 不 同 而 不 同 。还 有 一 种 铜 离 子 置 换 型 的 化 学 机 械 抛 光 。总 之 在 基 片 的 加 工 中 ， 加 入 研 磨 工 序 是 获 得 高 精 度 基 片 的 有 效 方 法 ， 但 研 磨 实 现 自 动 化 很 困 难 ，而 且 对 研 磨 盘 的 管 理 、 修 整 以 及 加 工 过 程 中 都 要 靠 操 作 者 的 技 术 和 经 验 ， 对 环 境 也 容 易 污 染 。

在 基 片 内 产 生 的 缺 陷 、 挠 曲 及 切 断 表 面 所 残 留 的 微 小 龟 裂 及 应 力 层 等 ， 是 一 般 所 说 的 加 工 变质 层 。蓝 宝 石 基 片 的 加 工 工 序 与 硅 片 的 加 工 大 致 相 同 ， 见 图 7 ­ 3 1 。使 用 内 圆 周 刃 切 割 的 主 要 优 点 是 ， 锯 片 采 用 外 圆 周 拉 紧 方 式 固 定 ， 可 以 使 很 薄 的 锯 片 具 有 较 高的 刚 度 ， 以 小 切 削 余 量 进 行 高 速 切 割 。特 点 ： 研 磨 虽 然 可 以 提 高 平 面 度 、 平 行 度 等 加 工 精 度 ，但 它 容 易 污 染 加 工 环 境 ， 研 磨 效 率 较 低 ， 很 难 适 用 于 自 动 化 生 产 。( 一 ) 外 圆 及 定 向 面 的 磨 削为 使 其 外 圆 成 为 具 有 一 定 尺 寸 的 正 规 圆 柱 体 ， 去 除 拉 单 晶 时 所 造 成 的 缺 陷 ， 需 要 进 行 外 圆 磨 削 。加工石粉用什么机械在 全 部 工 序 中 ， 除 腐 蚀 和 粘 接 外 ， 均 为 磨 料 加 工 。