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制造碳化硅半导体衬底的方法

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作者:鄢凡团队 本文节选自招商证券电子研究2016年10月24日发布报告《半导体行业深度专题之五-半导体设备和材料国产化机遇》。 前情提要: 行业分析

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我成功研制世界口径单体碳化硅反射镜 日前从中国科学院获悉,由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目"4米量级高

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国家重大科研装备研制项目"4m量级高精度碳化硅非球面反射镜集成制造系统",8月21 日在长春通过验收 其核心制造设备 以及制造工艺具有完全自主知识产权

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碳化硅元件的市场发展关键:晶圆制造_硅晶

司马良亮指出,碳化硅晶圆在去年有一个高潮,主要的原因是硅晶(Si)材料的短缺,因此有部分的业者转向使用碳化硅。司马良亮表示,由于硅晶圆问世已久

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