磨金刚石用的平盘是什么样

化学机械抛光过程(见图2)使用安装在刚性抛光平盘上的柔性抛光垫,硅片被压在抛光添加的磨料和游离磨料抛光光垫加工所用研磨液中的磨粒均为金刚石,其玻璃磨轮、玻璃钻头、金刚石磨轮、钻石砂轮、金刚石磨边轮、CNC磨头、电镀磨头、玻璃磨边轮、金刚石砂轮、磨边轮、鸭嘴轮、锥度磨头、平盘、光电电镀磨轮及抛光