生产氮化硅的设备

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采用微波高温烧结设备生产氮化硅的优势: (1)基于微波的加热特性和微波高温设备的特 (3)设备占地面积、投资成本均比热压烧结法所使用的设备要小得多 (4)可分批次生产烧1 氮化硅去除设备(中段) 1台 用于12英寸集成电路生产企业的氮化硅去除设备(中段),满足28nm或28nm以下产品量产及研发需求。 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业

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