碳化硅生产装备

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京运通在互动平台表示:公司装备事业部研发的碳化硅炉可用于生产碳化硅晶体。2018年5月24日 碳化硅材料的电气特性使其适用于研制高击穿电压元件,但是,远高于 硅晶圆片,而且生产设备非常昂贵,因此,碳化硅元件的CP值不如硅元件。 日新技研株式会社(日本)。

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