制作碳化硅设备
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电子碳化硅芯片的设备制作方法与制作流程_物理_自然科学_专业资料。本技术属于碳化硅芯片加工领域,尤其是一种电子碳化硅芯片的制备方法,针对现有的不便于对环氧树脂的浇筑量。